（三）项目交付件：

2套高速双向运动机构、设计资料、图纸、关键技术研究报告、测试报告。

（四）其他要求：

刀片、导轨等关键零部件，以及加工工艺，需实现国产化。项目承担单位承诺，本项目验收通过后2年内，具备年产≥10套的生产能力。

（五）项目完成时间：不晚于2024年6月

（六）拟资助经费：不超过200万元

（一）研究内容：

开展较好隔振传递率、较高位置稳定性的主动减振器及其控制技术研究。

（二）考核指标：

减振器系统三点式布局，总承载2800~3500kg，单个减振器最大承载≥1500kg；单个减振器长*宽*高：360mm*250mm*200mm；减振器X/Y/Z三个方向传递率要求：a)<-30dB@2Hz；b)<-50dB@10Hz；c)<-80dB@50Hz；负载位置稳定性(3σ)：X/Y/Z三个方向<15μm@5min；具有机械限位功能（浮起状态）：水平向<±700μm、垂向<±700μm；外部前馈信号通道不小于10路；提供用于减振器控制固件通讯的远程命令接口，包括减振器状态查询、控制参数设置与获取等功能；MTTR≤4小时，MTBF≥7000小时。

（三）项目交付件：

2套主动减振器、设计资料、图纸、关键技术研究报告、测试报告。

（四）其他要求：

传感器、执行器、控制器等关键零部件，需实现国产化。项目承担单位承诺，本项目验收通过后2年内，具备年产≥10套的生产能力。

（五）项目完成时间：不晚于2024年12月

（六）拟资助经费：不超过300万元

（一）研究内容：

研究对自由空间光进行高频、高精度大范围调制的相位调制器，有效降低激光时间相干性。

（二）考核指标：

长*宽*高≤25.65mm*25.65mm*31.75mm；调制波长：532nm；共振频率：1.75GHz；相位调制振幅范围：1.2~7.1rad；灵敏度0.32~0.39rad/V@532nm；有效通光孔>1mm*1mm；光束点指向稳定性＜0.1mrad/K（晶体温度变化）。

（三）项目交付件：

2套相位调制器、设计资料、图纸、关键技术研究报告、测试报告。

（四）其他要求：

光电晶体等关键元器件，需实现国产化。项目承担单位承诺，本项目验收通过后2年内，具备年产≥20套的生产能力。

（五）项目完成时间：不晚于2023年12月

（六）拟资助经费：不超过90万元

（一）研究内容：

开发一款具有表面耐磨、冷却效率高等特点的水冷单元。