（二）考核指标：

材料为铝；形状为圆形，直径310~320mm；平面度≤10μm；布尔高度≤50μm；被测对象温度冷却到22±0.07℃用时≤7.3s（输入的被测对象温度为22±2℃）。

（三）项目交付件：

2套高性能水冷单元、设计资料、图纸、关键技术研究报告、热仿真报告、测试报告。

（四）其他要求：

项目承担单位承诺，本项目验收通过后2年内，具备年产≥20套的生产能力。

（五）项目完成时间：不晚于2023年12月

（六）拟资助经费：不超过60万元

（一）研究内容：

开发一款加湿器，用于超高纯气体供给系统，实现持续加湿中只传送水汽、高效率加湿等技术的研究攻关。

（二）考核指标：

加湿器出口气体的相对湿度≥90%@22℃（加湿器进口气体的露点温度≤-89℃@1atm）；最大可处理超洁净干空气流量≥900NL/min，加湿器可处理超洁净干空气的压力范围：1~3barg；加湿用超纯水的流量消耗≤2L/min@17~24℃；加湿器出入口气体关键污染物浓度如下表。

（三）项目交付件：

2套超洁净空气加湿器、设计资料、图纸、关键技术研究报告、测试报告。

（四）其他要求：

加湿器设计方案如果采用non-porous membrane（非多孔膜），需实现国产化。项目承担单位承诺，本项目验收通过后2年内，具备年产≥10套的生产能力。

（五）项目完成时间：不晚于2023年12月

（六）拟资助经费：不超过180万元

（一）研究内容：

研究特定铝合金件内部的复杂水路系统的水路防腐蚀方案，其长度超过2000mm，内孔径小，最大孔深约1200mm。腐蚀介质为中性水，研究变量包含水中溶解氧含量、Cl^-浓度、Cu²⁺浓度、电导率，以及水路供水装置中水面上方CO₂浓度等。通过实验研究得出循环水路环境中，各主要水质指标的控制范围及其对水路管道腐蚀的影响。

（二）考核指标：

交付1套针对特定铝合金件内部复杂循环冷却水流道的完整的水路防腐蚀方案和验证结果，包含水中溶解氧含量、Cl^-浓度、Cu²⁺浓度、电导率，以及水路供水的空气环境中CO₂浓度等的控制范围及工程控制方法，实现腐蚀速率＜0.57mm/y（毫米/年）。

（三）项目交付件：

复杂铝合金件内部水路保护技术方案报告：

（1）特定铝合金件内部冷却水路腐蚀及失效的原因分析

（2）基于腐蚀影响的特定铝合金件内部冷却水路寿命预测分析

（3）特定铝合金件内部冷却水路寿命监测及优化方案

（4）满足特定铝合金件内部冷却水路寿命要求的工程技术方案及控制方法，完整的验证腐蚀速率与工程方案的实验与自检方法，及相关的全部实验数据