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附件：
榜单任务.docx
安徽省科学技术厅
2022年5月30日
附件 榜单任务
一、新型激光晶圆切割技术研发
需求目标：开发基于空间光调制器的激光隐形切割工艺及成套设备。需重点突破的技术难点：
1.高精度气浮平台的研发。系统可达到±1um的重复定位精度，最高可实现3G的加速度，2000mm/s的运动速度。
2.光路涉及实现激光的空间调制。通过GS算法、模拟退火算法等技术，通过对最终需要的激光光斑三维布情况来计算输入相位全息图，实现高效率高品质的全息图计算。
3.切割焦点Z向动态补偿。实现位移传感器和聚焦光轴与划片方向平行安装，位移传感器采集的晶圆面起伏信息传输给纳米电机根据晶圆平面起伏量进行焦点的实时补偿以达到实时动调焦的目的。
4.可变整形光斑控制系统。实现不同宽度的切割，镜片设计，制造指标，镀膜指标，系统精度完全自主可控。
5、光路自动稳定系统研发，确保设备在恶劣环境下可持续的稳定工作。
成果形式：基于空间光调制器的激光隐形切割工艺及成套设备。
技术指标：
设备参数 | 全自动激光表切设备(纳秒) | 全自动激光隐形切割设备 | 全自动激光表切设备（皮秒） |
基本配置 | 光学 | 激光器 | 定制 | 纯光纤定制 | 定制 |
功率(W) | ≥11 | ≥5 | 30 |
波长 | 355nm | 定制 | 355nm |
激光模式 | Pulse | CW | Pulse | CW | Pulse | CW |
M² | ≤1.3 | ≤1.1 | ≤1.3 |
频率(Hz) | 40KHz | 200KHz | 40KHz | 130KHz | 1KHz | 2000KHz |
脉宽 | 40ns-150ns | 40ns-450ns | ＜15Ps |
功率稳定性 | <±2% over 8hours | <±2% over 8hours | <±2% over 8hours |
偏振方向 | 线性 | 线性 | 线性 |
光斑直径 | 20-120μm连续可变 | ＜2μm | 20-120μm连续可变 |
制冷方式 | water-cooling | 风冷 | water-cooling |
环境温度（℃） | 17-30 | 17-30 | 17-30 |
光路设计 | 双光路设计 | 支持多焦点设计 | 双光路设计 |
质保 | 2年 | 2年 | 2年 |
加工方式 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
X/Y运动平台 | 直线电机 | 定制 | 定制 | 定制 |
读数头/光栅尺 | 定制 | 定制 | 定制 |
导轨 | 定制 | 定制 | 定制 |
最大行程 | ≥650mmx450mm | ≥650mmx450mm | 650mmx450mm |
加工幅面 | ≥300mmx300mm | ≥320mmx320mm | 320mmx320mm |
最大运行速度 | ≥1000mm/s | 1000mm/s | 1000mm/s |
定位精度 | ±3μm以内 | ±2μm | ±3μm以内 |
重复精度 | ±2μm以内 | ±1μm | ±2μm以内 |
分辨率 | 0.1μm以内 | ≤0.1μm | 0.1μm以内 |
Z轴 | 伺服电机 | 定制 |
| 定制 |
丝杆 | 定制 | 日本(IKO) | 定制 |
导轨 | 定制 | 日本(IKO) | 定制 |
最大行程 | ≥12mm | 10mm | ≥12mm |
分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm |
最大速度 | 20mm/s | ≥20mm/s | ≥20mm/s |
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