1nm-50nm，测量分辨力达到亚单原子层，每小时信号漂移＜5×10-3，信噪比＞1000:1，单次厚度最快测量时间＜10ms。
四、示范应用
（一）高灵敏原子团簇无创唾液传感器
揭榜任务：为满足多样化医疗服务场景的迫切需求，实现近距邻接耦合团簇阵列精确制备，攻克复杂基质中对痕量物质高特异性识别的技术难题，开发基于金团簇等离激元即时检测（POCT）唾液智能分析系统。
预期目标：到2026年，搭建1套唾液POCT能智能分析仪，其中金团簇原子数的误差控制在绝对值小于100。系统具备同时检测唾液中的葡萄糖、尿酸和皮质醇三种关键生物标志物的能力，检测时间缩短至10分钟以内。
（二）面向高效稳定太阳能电池的钙钛矿薄膜原子级缺陷钝化技术
揭榜任务：针对面积大于30×750px2商用钙钛矿太阳能电池产品的迫切需求，发展原子级沉积新方法，生长大面积高品质钙钛矿薄膜，突破钙钛矿薄膜均匀化原子级缺陷钝化关键技术，研制电池电极和封装材料的原子层沉积集成技术，提升钙钛矿太阳能电池的寿命和可靠性，推动产业化应用。
预期目标：到2026年，产出面积>22500px2的钙钛矿薄膜，实现薄膜的原子级缺陷钝化且缺陷态密度<1014 cm-3，结合原子层沉积技术完成相应太阳能电池模组的批量化生产。在此面积下实现光电转换效率≥20%。连续光照2000小时后，效率衰减<5%；通过IEC“双85”湿热测试认证。
附件3
清洁氢揭榜挂帅任务榜单
一、核心基础
（一）低成本兆瓦级质子交换膜电解堆
揭榜任务：面向可再生能源制氢对低能耗、宽功率波动、高动态响应的应用需求，突破兆瓦级质子交换膜（PEM）电解水制氢电解堆的关键技术；研制出低能耗、轻量化、高可靠性的兆瓦级PEM电解堆；实现适应性宽功率波动MW级PEM电解水制氢系统集成与应用；掌握标准化、规模化、低成本的电解堆生产制造方法，推动PEM电解堆在制氢领域的应用。
预期目标：到2026年，量产兆瓦级PEM电解堆具备可再生能源波动工况下的长时间工作能力，单电解堆制氢能力大于400Nm3/h，直流电耗不高于4.4kWh/Nm3，成本低于240万元/MW。
（二）可量产阴离子交换膜电解堆
揭榜任务：面向可再生能源电解水制氢的规模化和低成本需求，研究大功率阴离子交换膜制氢电解堆的零部件与整堆结构设计及批量制造技术，研究电解堆运行控制策略，完成大功率阴离子交换膜制氢电解堆的开发与测试验证，提升电解堆产氢电流密度与功率波动适应性。
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